特許

J-GLOBAL ID：200903063425404811

小型He 冷凍機の多台運転における個別温度制御による温度維持方法

発明者： 杉崎 広幸 ,  小林 秀
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 大橋 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274887
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087414
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 小型He 冷凍機の多段運転方法において、冷媒流量の変化に伴う冷却ステ-ジの温度変化を冷凍機の個別温度制御により抑制可能にすることを目的とする。【構成】 小型He 冷凍機aの多台運転において、冷却ステ-ジの温度変化を温度制御装置20によって予め抑制することができるようにした。

請求項（抜粋）：

小型He 冷凍機の多段運転において、冷却ステ-ジの温度変化を温度制御装置(20)によって予め抑制するようにしたことを特徴とする小型He冷凍機の多台運転における個別温度制御による温度維持方法。