特許

J-GLOBAL ID：200903063437625716

フアブリ・ペローマイクロフィルタ検出器

発明者： コール,バーレット・イー ,  フリッツ,バーナード・エス ,  ホーニング,ロバート・ディ
出願人/特許権者： ハネウエル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521046
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511772
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】2ミクロンから12ミクロンの波長範囲の吸収線を有する特定の物質の分光検出のためのモノリシック構成の赤外線同調可能フアブリ・ペロー空洞フィルター検出器。フィルター検出器は密閉されたフアブリ・ペロー空洞を有し、この空洞は別のミラーに対して調整自在の間隔を有するミラーを有する。第1のミラーは、ミラー支持体上の圧電膜により、あるいはミラーを支持する圧電スタック又は圧電壁により調整される。ミラーの近傍に、ミラーの間隔を容量性検出するための電極が配置されても良い。フィルタリングされ、検出されるべき光は、回折マイクロレンズ又は屈折マイクロレンズのいずれかであれば良い窓ウェハと、任意に設けられる空間フィルタとを経て入射する。窓ウェハを通過した後、光はファブリ・ペロー空洞の同調可能ミラーによってフィルタリングされる。空洞を通過した光の部分は赤外線マイクロボロメータ又はCCDアレイにより検出される。空洞と検出器は真空の中に密封されている。

請求項（抜粋）：

検出器と; 前記検出器に近接する同調可能フアブリ・ペローフィルタと; 前記同調可能フアブリ・ペローフィルタに近接して配置された窓とを具備するマイクロ同調可能フアブリ・ペローフィルター検出器。