特許

J-GLOBAL ID：200903063437841087

蒸着装置および有機電界発光素子の製造装置

発明者： 加納 浩志 ,  森 敬郎 ,  紙山 功
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-315765
公開番号（公開出願番号）：特開2004-149846
出願日： 2002年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】蒸発源のメンテナンスと蒸着処理との両立を図り、装置可動率の向上を可能にすること。【解決手段】本発明は、成膜対象となる基板(ガラス基板1)を収容する主真空室3と、主真空室3に隣接し、開閉動作する仕切り弁5a、5bを介して配置される複数の副真空室3a、3bと、複数の副真空室3a、3bの各々に設けられ、仕切り弁5a、5bが開いた状態で成膜のための蒸発源(ライン型蒸発源2a、ライン型蒸発源2b)を副真空室3a、3bと主真空室3との間で進退させる蒸発源移載機構6a、6bとを備える蒸着装置である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

成膜対象となる基板を収容する主真空室と、 前記主真空室に隣接し、開閉動作する仕切り弁を介して配置される複数の副真空室と、 前記複数の副真空室の各々に設けられ、前記仕切り弁が開いた状態で成膜のための蒸発源を前記副真空室と前記主真空室との間で進退させる蒸発源移載機構と を備えることを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C14/24 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/24 C ,  H05B33/12 B ,  H05B33/14 A

Fターム (11件)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029KA09