特許

J-GLOBAL ID：200903063452965906

露光装置

発明者： 長谷川 敬恭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-026250
公開番号（公開出願番号）：特開2007-201384
出願日： 2006年02月02日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】転写精度及びスループットに優れた露光装置を提供する。【解決手段】投影光学系の最終レンズと被露光体との間を液体で満たし、当該被露光体を前記液体を介して露光する露光装置であって、前記投影光学系の最終レンズと前記被露光体との間の前記液体が充填されるべき領域から前記液体が漏れ出すことを低減又は防止する漏れ低減手段と、前記漏れ低減手段に又は前記漏れ低減手段よりも前記投影光学系の光軸側に形成され、前記領域内又は前記領域近傍の気体の圧力変動を抑制する圧力変動抑制手段とを有し、前記液体を前記領域から回収する液体回収口と前記液体を前記領域に供給する液体供給口が、前記漏れ低減手段及び前記負圧低減手段よりも前記投影光学系の光軸側に形成されることを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

投影光学系の最終レンズと被露光体との間を液体で満たし、当該被露光体を前記液体を介して露光する露光装置であって、 前記投影光学系の最終レンズと前記被露光体との間の前記液体が充填されるべき領域から前記液体が漏れ出すことを低減又は防止する漏れ低減手段と、 前記漏れ低減手段に又は前記漏れ低減手段よりも前記投影光学系の光軸側に形成され、前記領域内又は前記領域近傍の気体の圧力変動を抑制する圧力変動抑制手段とを有し、 前記液体を前記領域から回収する液体回収口と前記液体を前記領域に供給する液体供給口が、前記漏れ低減手段及び前記負圧低減手段よりも前記投影光学系の光軸側に形成されることを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 515D

Fターム (3件)：

5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CB24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット
  
• リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-417259   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 国際公開第2004/086470号パンフレット