特許

J-GLOBAL ID：200903063454626963

温度測定方法

発明者： 本田 剛一 ,  保坂 英二 ,  福田 重夫 ,  狩野 利一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148982
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005172
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 再現性の良い測定データを得ると共に測温素子,ボート,ウェーハ等を損傷させるおそれを少なくする。【構成】 ウェーハ5を熱処理するためのヒータ1の均熱長を測定する際に昇降可能な治具10を用い、この治具10に測温素子8を取り付け、該測温素子8を一定速度で下降させてヒータ1の均熱長を測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハを熱処理するためのヒータの均熱長を測定する際に昇降可能な治具を用い、この治具に測温素子を取り付け、該測温素子を一定速度で下降させてヒータの均熱長を測定することを特徴とする温度測定方法。

IPC (4件)：

G01K 7/00 381 ,  G01K 7/00 ,  G01K 7/02 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G01K 7/00 381 G ,  G01K 7/00 381 L ,  G01K 7/02 E ,  H01L 21/02 Z