特許

J-GLOBAL ID：200903063456124906

電気めっき装置および電気めっき方法

発明者： 原 英貴
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-158358
公開番号（公開出願番号）：特開2004-359994
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】被めっき基板表面の均一なめっき膜厚およびめっき充填部の安定したバンプ形状を形成することが可能で、しかも、高速めっきを可能とする電気めっき装置および電気めっき方法を提供する。【解決手段】めっき槽と、該めっき槽にめっき液を循環させる噴流ノズルを有する噴流ユニットと、被めっき基板および陽極板の固定部とを有する電気めっき装置において、該噴流ユニットが、噴流ノズル面を回転する機構を具備することを特徴とする電気めっき装置。被めっき基板のめっき面および陽極板に対し、めっき液の吐出ノズルおよび吸入ノズルを有する面が回転する噴流ユニットにより、めっき液を吐出および吸入させながら、該噴流ユニットを回転させ、前記被めっき面および陽極板に通電して、電気めっきを行うことを特徴とする電気めっき方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

めっき槽と、該めっき槽にめっき液を循環させる噴流ノズルを有する噴流ユニットと、被めっき基板および陽極板の固定部とを有する電気めっき装置において、該噴流ユニットが、噴流ノズル面を回転する機構を具備することを特徴とする電気めっき装置。

IPC (2件)：

C25D5/08 ,  C25D7/00

FI (2件)：

C25D5/08 ,  C25D7/00 J

Fターム (7件)：

4K024AA09 ,  4K024BB11 ,  4K024BB12 ,  4K024CB01 ,  4K024CB14 ,  4K024CB18 ,  4K024GA16