研磨用パッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007846
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197434
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】【目的】研磨加工中に発生するゴミが少ない研磨用パッドを提供する。【構成】被加工物と接する研磨層15の材料として、多孔質発泡性樹脂とし、その表面に加熱プレス等のエンボス加工による凹溝18により、所望の模様を形成して成る研磨用パッド。【効果】研磨層15の表面にもうけた凹溝がエンボス加工であるため、溝の端面からのゴミの発生が少なく、耐久性の良い研磨用パッドが得られた。

請求項（抜粋）：