特許
J-GLOBAL ID：200903063465115804
半導体装置の製造用のクリーンルームのファンフィルタユニット駆動監視装置及び駆動制御システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142011
公開番号（公開出願番号）：特開平10-137527
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】【課題】 ファンフィルタユニットの駆動状態を正確に認識し、駆動状態を効率的に制御して管理できる半導体製造用クリーンルームのファンフィルタユニット駆動監視装置及び駆動制御システムを提供する。【解決手段】 本発明の監視装置はファン22の回転による空気の流れにより動作し、複数個の端子の中のいずれか一つの端子に電源を連結するスイッチング部30と、前記スイッチング部での各端子の電気的な連結に従い選択的にオン/オフされる表示部41、42とで構成される。また、本発明の制御システムは前記表示部をマルチコントロールユニット51で監視し、前記マルチコントロールユニット51はリレーコントロールユニット52を介してホストコントロールユニット53により監視され、各ファンフィルタユニットに備えられている各表示部のオン/オフの状態を統合して感知するように構成したものである。
請求項（抜粋）：
送風用ファン及び駆動モータと空気を浄化するフィルタとを備え、クリーンルームの天井に多数個設置される半導体装置の製造用のクリーンルームのファンフィルタユニットの駆動監視装置であって、前記ファンの回転による空気の流れによって動作し、複数個の端子の中のいずれか一つの端子に電源を連結するスイッチング部と、前記スイッチング部での各端子の電気的な連結に従い選択的にオン/オフされ視覚的に認識される表示部とを備えることを特徴とする半導体装置の製造用のクリーンルームのファンフィルタユニット駆動監視装置。
IPC (3件)：
B01D 46/46
, F24F 7/06
, H01L 21/02
B01D 46/46
, F24F 7/06 C
, H01L 21/02 D
