特許

J-GLOBAL ID：200903063466214717

位置検出方法、位置検出装置、位置決め装置及び加工装置

発明者： 金澤 英祐
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099599
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296027
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 高精度で且つ応答速度が速い位置検出装置、その位置検出装置を用いた位置決め装置及びその位置決め装置を搭載した加工装置を提供する。【解決手段】 回転軸1に偏芯した位置に取り付けられた偏芯円盤11と、偏芯円盤11の外周方向に沿って配置され、偏芯円盤11との距離を計測する1対のセンサ13,14とを備える。偏芯円盤11の回転に伴って偏芯円盤11とセンサ13,14との距離が連続的に変化し、センサの出力は回転軸の回転に伴って連続的に変化する。また、センサ13,14を複数設けたことにより偏心円盤11の回転方向を把握することができるので、センサ13,14の出力及びその回転方向に基づいて回転軸1の回転位置を高精度に且つ迅速に検出することができる。

請求項（抜粋）：

回転軸に取り付けられ、前記回転軸から外周部までの距離が周方向に沿って異なる回転体と、前記回転体の外周方向に沿って配置され、前記回転体との距離に対応して出力が変化する少なくとも1つのセンサとを備え、前記センサの出力に基づいて前記回転軸の回転位置を求めることを特徴とする位置検出方法。

Fターム (8件)：

2F069AA83 ,  2F069BB40 ,  2F069DD15 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG09 ,  2F069HH30 ,  2F069NN08