特許

J-GLOBAL ID：200903063466763443

光学部品の研磨方法

発明者： 村原 正隆
出願人/特許権者： 学校法人東海大学
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-014687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219635
出願日： 2001年01月23日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】【課題】短時間で高精度の研磨を達成し得る光学部品の研磨方法を提供する。【解決手段】光学部品(13)の被研磨面とフッ素樹脂(12)との間に水(14)を介挿させた状態で、光学部品(13)の被研磨面と水(14)とフッ素樹脂(12)に紫外光(17)を入射しながら、光学部品(13)とフッ素樹脂(12)を相対的に摺動させて光学部品(13)の被研磨面を研磨する。

請求項（抜粋）：

光学部品の被研磨面とフッ素樹脂との間に水を介挿させた状態で、該光学部品の被研磨面と水とフッ素樹脂に紫外光を入射しながら、光学部品とフッ素樹脂を相対的に摺動させて該光学部品の被研磨面を研磨することを特徴とする光学部品の研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 1/00 ,  B24B 13/00 ,  G02B 3/00

FI (3件)：

B24B 1/00 Z ,  B24B 13/00 Z ,  G02B 3/00 Z

Fターム (3件)：

3C049AA09 ,  3C049CA06 ,  3C049CB03