特許

J-GLOBAL ID：200903063470735721

プラズマディスプレイパネル製造装置

発明者： 木佐 俊正
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-117545
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306346
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネル製造装置に関し、プラズマディスプレイパネル製造工程の効率化を目的とする。【解決手段】 放電空間を封止処理する封止機能と、放電空間のリークの有無をチェックするリークチェック機能と、放電空間を排気処理する排気機能とを具備してなるプラズマディスプレイパネル製造装置であって、前記封止処理を終了したプラズマディスプレイパネルが排気可能温度に到達した時点で、前記放電空間のリークチェック処理と排気処理が実行されるように構成する。

請求項（抜粋）：

放電空間を封止処理する封止機能と、放電空間のリークの有無をチェックするリークチェック機能と、放電空間を排気処理する排気機能と、を具備してなるプラズマディスプレイパネル製造装置であって、前記封止処理を終了したプラズマディスプレイパネルが排気可能温度に到達した時点で、前記放電空間のリークチェック処理と排気処理が実行されるように構成したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造装置。

IPC (5件)：

H01J 9/02 ,  H01J 9/26 ,  H01J 9/38 ,  H01J 9/385 ,  H01J 9/42

FI (5件)：

H01J 9/02 F ,  H01J 9/26 A ,  H01J 9/38 Z ,  H01J 9/385 A ,  H01J 9/42 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-053831
  
• 特開昭48-079573
  
• 特開昭64-017353
  
• 特開昭63-069125