特許
J-GLOBAL ID：200903063471938065
赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254842
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066152
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 チョッパを内蔵した小型、かつ、安価な赤外線センサを提供する。【構成】 シリコンの基板13上に赤外線検出部15を設ける。この赤外線検出部15の上側にはチョッパ層20を設ける。このチョッパ層20にはチョッパ40を形成する。このチョッパ40は遮蔽板22に赤外線の非透過部24と透過部25を交互に設け、この遮蔽板22にばね23を連結したもので、駆動手段によってチョッパ40をA方向に振動変位させる。チョッパ層20の上側には赤外線の非透過部36と透過部37を交互に設けた赤外線導入層34を積層形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に赤外線検出部が設けられ、この赤外線検出部の赤外線入射側に赤外線の透過部と非透過部とを交互に配置した赤外線導入層が設けられ、この赤外線導入層の表裏一方側には赤外線の透過部と非透過部とを交互に配置したチョッパが赤外線導入層に沿って相対移動自在に設けられており、このチョッパが形成されているチョッパ層にはチョッパを赤外線導入層の透過部と非透過部に対して交差方向に移動する駆動手段が設けられるとともに、前記赤外線導入層とチョッパ層は前記基板上に積層形成されている赤外線センサ。
IPC (2件)：
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