特許
J-GLOBAL ID：200903063485601268
捩りビーム式加速度計の検出要素
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271325
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220134
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【課題】 容量性の捩りビーム式加速度計であって、上部プレートに多数の通し孔を形成せずに広域周波数に応答でき、重量側および軽量側のキャパシタの電気的幾何形状が実質的に等しい加速度計の検出要素を提供する。【解決手段】 基体10と、基体に配置されて撓み軸線のまわりに回転可能な検出部材12とを有し、撓み軸線の片側の小さい面積の検出部材の部分38を軽量側とし、大きな面積の他側の部分40を重量側とする。基体上の導電面16,17,18と検出部材12との間に撓みキャパシタが形成される。重量側には撓み軸線に直角な方向に延在するスロット33が形成される。このスロット33は、重量側のキャパシタの幾何形状を変化させ、電荷の拡散が生じる中で、電気的な幾何形状を一致させるように作用する。また、スロット33が空気の流通を可能にすることで、周波数の応答性が向上する。
請求項（抜粋）：
平坦な誘電ガラス基体と、少なくとも1つの第1の内部開口を有する平坦な半導体検出部材と、前記検出部材を前記基体の上方に取り付けるために前記第1の内部開口の内部に配置された取付け手段であって、前記基体の平面に鉛直な加速度に応答して前記検出部材が周りを回転する撓み軸線を定める2つの対向した捩りアームを有する受け台を含み、前記捩りアームが前記検出部材に固定される前記取付け手段と、前記検出部材と一体に導電材料で作られ、重量側プレートの方が軽量側プレートよりも面積の大きい軽量側プレートおよび重量側プレートと、重量側および軽量側の撓みキャパシタを形成する2組の導電プレートであって、前記重量側撓みキャパシタは前記重量側プレートとその下方の前記基体上の導電面とを含み、前記軽量側撓みキャパシタは前記軽量側プレートとその下方の前記基体上の導電面とを含み、前記軽量側および重量側の撓みキャパシタが前記撓み軸線の反対両側に実質的に対称状に配列されている導電プレートと、前記重量側プレートに形成されて前記内部開口の近くから前記撓み軸線に直角に延在している第1および第2のスロットであって、前記スロットの内側長縁が前記重量側プレートの下方の前記基体上の導電面の外側長縁に実質的に一致しており、前記スロットは前記撓み軸線に直角な方向に前記基体上の導電面の実質的な長さ部分に延びている第1スロットおよび第2スロットと、前記重量側プレートの下方の前記基体上の導電面の何れかの側に配列された1組の自己試験用導電電極であって、前記重量側プレートおよびこれら自己試験用導電電極が同じ電位を有していないときに前記検出部材を前記撓み軸線のまわりに回転させることのできる自己試験用キャパシタを前記検出部材の前記重量側プレートとともに形成している自己試験用導電電極とを含み、前記検出部材は前記基体表面に鉛直な加速度に応答して前記撓み軸線のまわりに回転するようになされており、また前記回転に応答して前記重量側および軽量側のキャパシタのキャパシタンスが変化するようになされている捩りビーム式加速度計の検出要素。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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センサー要素
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-068467
出願人：フォードモーターカンパニー
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