特許
J-GLOBAL ID:200903063485609870
ガラス基板およびその製造方法ならびに半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-062299
公開番号(公開出願番号):特開2001-251039
出願日: 2000年03月07日
公開日(公表日): 2001年09月14日
要約:
【要約】【課題】 ガラスと配線パターンの密着性が良く、両面に形成された配線パターンで1つの回路を形成可能なガラス基板およびその製造方法ならびに半導体装置を提供すること。【解決手段】 ガラス基板10は、ガラス板11の両面に配線パターンの配置に対応しているとともに、ガラス基板10の厚さの半分上の深さを持つ溝部12を形成している。また、溝部12を埋めるように配線パターン14a、14bとをそれぞれの面に形成している。よって、配線パターン14a、14bとは電気的に接続され、配線パターン14a、14bとで1つの回路を形成することができる。なお、溝部12にレーザ光等で貫通孔を形成して。配線パターン14aと配線パターン14bとを接続しても良い。
請求項(抜粋):
少なくとも一方の面に配線パターンを形成してなるガラス基板において、前記配線パターンを、前記配線パターンに対応して形成された前記ガラス基板の溝部を充填するように形成してなることを特徴とするガラス基板。
IPC (3件):
H05K 3/10
, H01L 23/12
, H05K 3/18
FI (3件):
H05K 3/10 E
, H05K 3/18 H
, H01L 23/12 Q
Fターム (13件):
5E343AA07
, 5E343AA26
, 5E343BB02
, 5E343BB44
, 5E343CC37
, 5E343CC73
, 5E343DD33
, 5E343EE33
, 5E343EE37
, 5E343ER12
, 5E343ER18
, 5E343GG02
, 5E343GG20
引用特許:
審査官引用 (5件)
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液晶表示装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-081823
出願人:松下電器産業株式会社
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プリント基板及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-291184
出願人:キヤノン株式会社
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印刷回路板製造プロセス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-303832
出願人:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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特開平4-146684
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特開平2-170450
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