特許
J-GLOBAL ID：200903063492967375
磁気センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村瀬 一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267748
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 感磁膜などの断線の虞がなく中点ばらつきも抑えられ、小型化を可能としかつ量産性を高める。【構成】 絶縁基板1に結晶化ガラスを使用している。結晶化ガラスは感光した部分が加熱現象処理により酸に溶け易くなるので、結晶化ガラスのウェハーにスルーホールパターンを露光した後、加熱現象処理とエッチング処理を施すことによって、多量のスルーホール2を同時に形成する。その後、基板1全体を結晶化することによって、スルーホール2を有するガラス並みの粗度、平坦性の絶縁基板1を得る。
請求項（抜粋）：
結晶化ガラスから成る絶縁基板上に感磁膜を形成してなる磁気センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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