特許

J-GLOBAL ID：200903063493257010

半導体レーザー測長器

発明者： 斎藤 圭介
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239715
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079815
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】移動鏡の位置調整を容易且つ正確に行えるようにしたことである。【構成】不可視光を発する半導体レーザー1を光源として用い、二分割した一方の光を参照鏡3で反射させ、他方を移動鏡6で反射させて干渉させる。干渉信号検出系5で得た干渉信号に基づくSIN信号とCOS信号の自乗和を、CPU23で演算して、その干渉信号強度の自乗和をレベルメーター25で表示する。【効果】アライメントを干渉信号の強度レベルによって定量的に認識できる。

請求項（抜粋）：

光源として不可視光を発する半導体レーザーから発せられた光を二分割し、一方の光を光源に対して固定された参照鏡に入射させると共に他方の光を移動可能な移動鏡に入射させ、該参照鏡及び移動鏡で反射された各反射光を同一光路へ導いて干渉させ、得られた干渉信号から移動鏡の移動距離を測定するようにした半導体レーザー測長器において、前記干渉信号の強度レベルを表示する表示手段を備えていて、該干渉信号の強度レベルによって前記移動鏡の位置決め調整を行うようにしたことを特徴とする半導体レーザー測長器。