特許

J-GLOBAL ID：200903063499052771

ガスバリヤー性フィルム

発明者： 福田 伸 ,  山崎 文晴 ,  福田 信弘
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093595
公開番号（公開出願番号）：特開平8-281861
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【構成】 透明高分子フィルムの少なくとも一つの主面に、少なくとも有機珪素化合物と酸素とを原料としたプラズマ化学蒸着法で形成した珪素酸化物層と、少なくともポリシラザンを含む液体を塗布後加熱処理して得られる珪素酸化物層とを積層してなるガスバリヤー性フィルム。【効果】 酸素透過率および水蒸気透過率ともの著しく低く、液晶ディスプレーの基板に好適に用いることができるガスバリヤー性フィルムを提供する。

請求項（抜粋）：

透明高分子フィルムの少なくとも一つの主面に、少なくとも有機珪素化合物と酸素とを原料としたプラズマ化学蒸着法で形成した珪素酸化物層と、少なくともポリシラザンを含む液体を塗布後加熱処理して得られる珪素酸化物層とを積層してなるガスバリヤー性フィルム。

IPC (5件)：

B32B 9/00 ,  B32B 27/06 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/50 ,  G02F 1/1333 505

FI (5件)：

B32B 9/00 A ,  B32B 27/06 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/50 ,  G02F 1/1333 505