特許

J-GLOBAL ID：200903063502240045

ビームホモジナイザ

発明者： 山崎 和則
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314039
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153747
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】 光強度分布のトップフラット率を大きくすることができるビームホモジナイザを提供する。【解決手段】 複数のシリンドリカルレンズが、各々の円柱面の母線同士及び光軸面同士を相互に平行にし、かつ光軸面に対して垂直な仮想平面に沿って配列した第1のシリンダアレイと、複数のシリンドリカルレンズが同様に配列した第2のシリンダアレイとを有する。対応するシリンドリカルレンズ同士は、光軸面を共通にする。収束光学系が、第2のシリンダアレイを透過した光線束を収束する。第1のシリンダアレイの入射側にフィルタ光学系が配置されている。フィルタ光学系は、仮想平面に垂直な光軸を有する平行光線束が入射するとき、第1のシリンドリカルレンズの円柱面の母線に垂直な平面内に関して、平行光線束の平行度を高める。

請求項（抜粋）：

複数の第1のシリンドリカルレンズが、各々の円柱面の母線同士及び光軸面同士を相互に平行にし、かつ光軸面に対して垂直な第1の仮想平面に沿って配列した第1のシリンダアレイと、複数の第2のシリンドリカルレンズが、各々の円柱面の母線同士及び光軸面同士を相互に平行にし、かつ前記第1の仮想平面に平行な第2の仮想平面に沿って配列した第2のシリンダアレイであって、各第2のシリンドリカルレンズが、対応する前記第1のシリンドリカルレンズと光軸面を共通にし、前記第1のシリンドリカルレンズを透過した光線束が、対応する第2のシリンドリカルレンズに入射する前記第2のシリンダアレイと、前記第2のシリンダアレイを透過した光線束を収束する収束光学系と、前記第1のシリンダアレイの入射側に配置された第1のフィルタ光学系であって、前記第1の仮想平面に垂直な光軸を有する平行光線束が入射するとき、前記第1のシリンドリカルレンズの円柱面の母線に垂直な平面内に関して、該平行光線束の平行度を高める第1のフィルタ光学系とを有するビームホモジナイザ。

IPC (2件)：

G02B 27/00 ,  G02B 3/06

FI (2件)：

G02B 27/00 V ,  G02B 3/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-021605   出願人：株式会社ニコン
• 照明光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-323718   出願人：株式会社ニコン