静電偏向器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008750
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203100
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】従来の静電偏向器は、静電隔壁の材料と静電隔壁固定枠の材料との違いにより熱膨張差が生じ、静電隔壁に熱応力が加わり塑性変形するため、高温でのベーキングができず、ガス放出量を低減することがなかった。【解決手段】固定ボルト3bによる固定箇所に、静電隔壁固定枠から突出する部分の高さが静電隔壁の厚さよりも高くなるように形成されたスペーサ5を備え、ベーキングなどの高温時において、静電隔壁と静電隔壁固定枠との熱膨張差を吸収する構造とし、高温状態となっても静電隔壁に塑性変形が生じないようにした。

請求項（抜粋）：

静電隔壁と、上記静電隔壁と対向して配置された対向電極と、上記静電隔壁と異なる材料により、基底部、上記基底部の両端に立設された一対の側部及び上記側部の端部に配設された端面からなる構造に形成されるとともに上記静電隔壁を固定するための静電隔壁固定枠と、上記静電隔壁と上記静電隔壁固定枠とを固定するための複数の固定ボルトと、上記複数の固定ボルトを取り付けるため上記静電隔壁の上記端面に設けられた複数の第一の穴と、上記複数の固定ボルトに対応して上記静電隔壁に設けられた複数の第二の穴とを備え、上記静電隔壁と上記対向電極との間に発生する電場によって荷電粒子を偏向し、上記静電隔壁を介して二つの荷電粒子軌道を分離もしくは融合する静電偏向器において、上記複数の第一の穴の内少なくとも一つの穴の周囲に形成された溝と、上記溝にはめ込まれたスペーサとを備え、上記複数の第二の穴の内上記スペーサに対応する穴はその直径が上記スペーサの直径よりも大きくなるように形成され、上記スペーサは上記静電隔壁固定枠から突出する部分の高さが上記静電隔壁の厚さよりも高くなるように形成されていることを特徴とする静電偏向器。

IPC (3件)：

H05H 7/08 , H05H 7/10 , H05H 13/04

FI (3件)：

H05H 7/08 , H05H 7/10 , H05H 13/04 G

Fターム (6件)：

2G085AA13 , 2G085BA13 , 2G085BD08 , 2G085BE03 , 2G085BE06 , 2G085EA04

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