特許
J-GLOBAL ID：200903063510803270
加速度センサの感度調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244071
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】入力加速度に応じてセンサ出力レベルの調整を行ってダイナミックレンジを拡大することにより、加速度センサのS/N比を改善する。【構成】加速度センサ・チップ11の錘部24に対面する基台21上面に、金属電極膜28を設け、増幅回路12で増幅したセンサ出力に基づいて、制御回路13で切換スイッチ14の切り換えを制御し、電圧の異なる電圧源15,16を選択的に金属電極膜28に接続して印加電圧を可変制御するよう構成した。
請求項（抜粋）：
固定される基台と、該基台に変位可能に支持された質量部と、該質量部の変位量に応じた出力を発生する変位量検出手段とを備え、質量部と基台との対面方向に加速度が印加された時の質量部の変位量に基づく変位量検出手段からの出力によって、前記加速度を検出する構成の加速度センサにおいて、前記基台側に前記質量部と対面させて電極を設け、該電極と前記質量部との間に印加する電圧を、前記変位量検出手段からの出力レベルに基づいて複数段階に切換制御する印加電圧切換手段を設けたことを特徴とする加速度センサの感度調整装置。
IPC (2件)：
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