特許
J-GLOBAL ID：200903063521979140
エアロック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375998
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225331
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的の1つは、最小のサイズを達成すると同時に、基材のストリップの連続的な通過に対して最高の空気の気密性を可能にするエアロックを提供することにある。【解決手段】 基材のストリップを真空チャンバーの中に導入し、その中を連続的に通過させるエアロックが、ストリップの移動の方向に連続した少なくとも3つのローラーを含む包囲体を有し、該ローラーの間に前記ストリップ用の通路が作られ、第1及び第3のローラーがこの通路の一方の側に配置され、第2のローラーがこの通路の反対側に配置され、更に、本質的に気密の領域が、ストリップと、第1及び第3のローラーとの間に形成され、かつ真空ポンプに連結され、ストリップをローラーに当たる圧力を調整するための手段を備える。
請求項（抜粋）：
金属シートのような基材のストリップを、移動の方向に従って真空チャンバーの中に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通すためのエアロックにおいて、a)壁を有する包囲体と、b)包囲体内に取付けられた少なくとも2つのローラーからなる第1ローラー列と、を有し、該第1ローラー列のローラーは、平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップはローラーの間を移動することができ、c)第1ローラー列からずれて包囲体内に取付けられた第2ローラー列を有し、該第2ローラー列のローラーは平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップはローラーの間を移動することができ、前記第2ローラー列の各ローラーは第1ローラー列の2つのローラーに隣接して配置され、d)ローラーの間にストリップ用の通路が設けられ、ストリップは、ローラーの軸線に対して180 ゚よりも小さい角度に亘ってローラーの各々と接触しており、e)ストリップと、前記第1ローラー列及び第2ローラー列の隣接した2つのローラーとの間に、各々真空ポンプに連結された一連の本質的に気密な領域が形成され、f)ストリップに付与される張力を調整することによって、ストリップがローラーに当たる圧力を調整するための手段を設けたことを特徴とする、エアロック。
IPC (3件)：
B01J 3/02
, C23C 14/56
, B65H 27/00
B01J 3/02 P
, C23C 14/56 C
, B65H 27/00 Z
