特許
J-GLOBAL ID：200903063535485833
熱伝達方法および処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192192
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029222
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 被処理物と載置台との間に伝熱媒体となる気体を導入し、温度設定された被処理物の処理を行う際に、気体導入当初の圧力異常を防止し、被処理物の均一な処理を可能にする。【構成】 載置台2とこの載置台2上に保持された被処理物6との間隙に、伝熱媒体として気体を導入し、この導入気体を介して被処理物6の温度調節を行いつつ、被処理物6に対して減圧下で所定の処理を施す方法である。伝熱媒体としての気体を導入する際、被処理物6と載置台2との間隙内を一旦減圧状態とした後、この間隙内に少量の気体を予備導入し、この気体の予備導入工程に続いて、上記間隙内が所定の圧力に到達するまで気体を導入する。
請求項（抜粋）：
ベース部材上に被熱伝達体を配置する工程と、前記被熱伝達体とベース部材との間の間隙を排気する工程と、前記間隙に伝熱媒体として少量の気体を予備導入する工程と、前記間隙内の気体の圧力を制御しつつ、その圧力が所定の値に達するまで、該間隙内に前記気体を導入する工程とを具備することを特徴とする熱伝達方法。
IPC (5件)：
H01L 21/203
, H01J 37/317
, H01L 21/302
, C23F 4/00
, H01L 21/205
