特許

J-GLOBAL ID：200903063538128551

異物検査装置

発明者： 萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089767
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300701
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 迷光の受光を防止するとともに、S/N比の高い異物検出を行う。【構成】 光源1からの光は走査ミラー3により一方向(X方向)に光走査され、レチクル5上に走査領域L-C-Rを形成する。また走査領域L-C-Rに対して垂直な方向(Y方向)にレチクル5を移動する駆動手段7を設ける。集光レンズ11の光軸20とレチクル5との成す角α及びレチクル5の法線を含みY方向に平行な平面への光軸20の正射影と法線との成す角θを最適化することにより、レチクル5の回路パターンからの迷光を防止するとともに、異物からの散乱光の強度(S)に対して迷光の強度(N)の大きくする。

請求項（抜粋）：

光ビームを射出する光源と前記光源からの光ビームを所定の回路パターンが1つの表面に設けられた被検査物の該回路パターンが形成された表面から所定距離離れた被検査面上に集光する照射手段と前記光ビームを前記被検査物上で一次元的に光走査する光偏向手段と前記被検査面からの光を集光する集光手段と前記集光手段で集光された光のうち前記被検査面以外からの光を遮光する遮光手段と前記被検査面からの光を受光し、光電信号を出力する光電変換手段とを有し、前記光電変換手段からの信号に基づいて前記被検査物上の異物を検査する異物検査装置において、前記光走査の方向にほぼ垂直な方向と前記被検査面の法線方向を含む平面への前記集光手段の光軸の正写影と該法線との成す角度がほぼ20度〜45度であり、かつ前記集光手段の光軸と前記被検査面とのなす角度がほぼ20度〜40度となるように前記集光手段を配置したことを特徴とする異物検査装置。