特許
J-GLOBAL ID：200903063538717948
薬液塗布のスピンナー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049212
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251326
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 スピンナー軸に対する基板中心の離心量を長期に渡って最小に保つ。【構成】 基板9を固定する真空チャック7と、真空チャック7を回転させる電動機8と、真空チャック7の伝達軸15の水平方向の変異量を計測する振動センサー12と、真空チャック7の回転角度を計測する角度センサー13とを備え、計測した変位量と角度とから基板の離心量と離心方向とを求めて、基板9が真空チャック7に搬送されたときの停止位置を補正して、基板の離心位置を最小に抑える。
請求項（抜粋）：
基板を固定するチャックと、前記チャックを回転させる電動機と、前記チャックの回転軸の水平方向の変位量を計測する第1のセンサーと、前記チャックの回転角度を計測する第2のセンサーを備え、前記チャックに固定される基板の位置を補正する機構を備えた薬液塗布のスピンナー装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 5/00 101
, G03F 7/16 502
, B05C 11/08
