露光システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112181
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283424
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】ウエハのレジストコート処理から現像までの所要時間の短縮および均一化を図り、もって製品バラツキを減少させ、生産品質の向上を図る。【解決手段】露光装置と、該露光装置に接続されているウエハ処理装置と、前記露光装置と前記ウエハ処理装置の間で通信を行なう通信手段からなる露光システムにおいて、前記露光装置および前記ウエハ処理装置の各処理時間をパラメータとして持ち、前記露光装置、前記ウエハ処理装置の動作タイミング、動作時間を解析および予想して、最適な露光シーケンスを行なう時間管理手段を設ける。

請求項（抜粋）：

露光装置と、該露光装置に接続されているウエハ処理装置と、前記露光装置と前記ウエハ処理装置の間で通信を行なう通信手段からなり、前記露光装置および前記ウエハ処理装置の各処理時間をパラメータとして持ち、前記露光装置、前記ウエハ処理装置の動作タイミング、動作時間を解析および予想して、最適な露光シーケンスを行なう露光システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 502 G , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 J

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