特許

J-GLOBAL ID：200903063547221432

圧力センサー

発明者： 武藤 栄二 ,  新谷 彰浩 ,  小川 重光 ,  田中 藤登 ,  土屋 宗典 ,  上原 大司 ,  長沢 健二
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社 ,  株式会社長野計器製作所
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072531
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288851
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 圧力を正確に測定することができ、かつ製造が容易な圧力センサーの提供。【構成】 厚肉の基板11と、この基板11に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラム12とを備えた静電容量式の圧力変換素子10の基板11側の電極を、順次内側の電極を囲うように複数に分割し、この分割された基板11側の各電極31〜33のうち、中央の電極31を除く電極32, 33をそれぞれ閉環状に形成し、最も外側の電極33を接地あるいは所定の一定電圧に保った。

請求項（抜粋）：

厚肉の基板と、この基板に所定間隔を置いて対向配置された薄肉の弾性ダイヤフラムとを備え、これらの基板と弾性ダイヤフラムとの対向面の各々に対向する電極が設けられ、前記弾性ダイヤフラムに加わる圧力を前記電極間の静電容量の変化により検出する圧力センサーであって、前記電極のうち基板側の電極は複数に分割され、この分割された基板側の各電極は順次内側の電極を囲うように配置され、この分割された基板側の各電極のうち、中央の電極を除く電極はそれぞれ閉環状に形成され、最も外側の電極は接地あるいは所定の一定電圧に保たれていることを特徴とする圧力センサー。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平3-504161
  
• 特開昭50-003385
  
• 特開平4-020830