特許
J-GLOBAL ID:200903063547255655

縮小投影レンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-022837
公開番号(公開出願番号):特開平5-173065
出願日: 1992年02月07日
公開日(公表日): 1993年07月13日
要約:
【要約】【目的】 像歪みを小さくするために、縮小投影レンズの入射瞳位置が物体面から比較的遠くにあり、短波長光を光源とする高解像力で焦点深度の広い縮小投影レンズ。【構成】 互いに凹面を向かい合わせた一対のメニスカスレンズを含んでなる第1レンズ群I、正の屈折力を持ち少なくとも2枚のレンズにより構成された第2レンズ群II、正の屈折力を持った第3レンズ群III より構成され、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置をE、物像間距離をL、第1レンズ群の焦点距離をF<SB>1 </SB>とするとき、?@0.5<|E/L|?A0.2<|F<SB>1 </SB>/L|なる条件を満足する。
請求項(抜粋):
物体側より順に、互いに凹面を向かい合わせた一対のメニスカスレンズを含んでなる第1レンズ群、正の屈折力を持ち少なくとも2枚のレンズにより構成された第2レンズ群、正の屈折力を持った第3レンズ群より構成され、レンズ系の第1面より測った入射瞳位置をE、物像間距離をL、第1レンズ群の焦点距離をF<SB>1 </SB>とするとき、?@0.5<|E/L|?A0.2<|F<SB>1 </SB>/L|なる条件を満足することを特徴とする縮小投影レンズ。
IPC (2件):
G02B 13/14 ,  G02B 13/24
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開昭60-078454
  • 特開昭60-028613
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-078454
  • 特開昭60-028613

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