特許

J-GLOBAL ID：200903063547365507

真空アーク蒸発源

発明者： 藤井 博文
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072174
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269634
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 磁場形状を小型、簡易な構造で実現し得て、成膜速度を犠牲にせずに溶融粒子の発生を抑制し、蒸発物質を均一に消耗させることにより、周辺装置及び皮膜形成過程への磁場の影響を最小限に留め得る真空アーク蒸発源の提供。【解決手段】 真空アーク蒸発源の磁場発生源1を、それにより発生する磁極の中心が蒸発物質2の蒸発面2a に対し後方、かつ蒸発物質2を同軸的に囲む外周側にあって、同極性の磁極が対面するように配設した。また、磁場発生源1から発散する磁力線のうちの蒸発面2a を貫通する磁力線をその蒸発面2a に平行な成分が蒸発面2a の内側に向く方向に発散させるように、磁場発生源1が配設される。また、磁場発生源1から発散する磁力線のうちの蒸発面2a を貫通する磁力線をその蒸発面2a に平行な成分が蒸発面2a の外側に向く方向に発散させるように、磁場発生源1が配設される。

請求項（抜粋）：

真空アーク蒸発源の磁場発生源を、それにより発生する磁極の中心が蒸発物質の蒸発面に対し後方、かつ該蒸発物質を同軸的に囲む外周側にあって、同極性の磁極が対面するように配設したことを特徴とする真空アーク蒸発源。