特許
J-GLOBAL ID：200903063550897960
カーボン蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193747
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013205
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 蒸着の都度、カーボン棒先端形状を円錐状に削ることなく、連続的に効率良く短時間で試料に所定膜厚を蒸着できるようにする。【解決手段】 一方のカーボン棒20を、その直径D1が他方のカーボン棒22の直径D2よりも太いカーボン棒とし、該太いカーボン棒20の先端を、その長手方向と20〜70度の角度θをなす傾斜面20Aとする。
請求項（抜粋）：
カーボンを蒸発させて試料に堆積させるカーボン蒸着装置において、前記装置内に設置した、先端を相互に対向させる2本のカーボン棒を備え、該カーボン棒のうち一方のカーボン棒は、他方のカーボン棒よりも太いカーボン棒とされ、該太いカーボン棒の前記先端は、該太いカーボン棒の長手方向と20〜70度の角度をなす傾斜面を有していることを特徴とするカーボン蒸着装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/24 F
, G01N 1/28 N
, G01N 1/28 F
2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052FD06
, 2G052GA33
, 2G052HC32
, 2G052JA04
, 4K029BA34
, 4K029BC03
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029DB01
