特許

J-GLOBAL ID：200903063551021367

IC工場用清掃布

発明者： 山田 浩一 ,  能勢 健吉
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 白井 重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249695
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082647
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 有機溶剤の適度な吸収性を有し、繊維屑などの発生も少なく、塵の拭き取り性に優れ、耐薬品性も改善されたIC工場用清掃布を提供すること。【構成】 単糸繊度が0.7〜7.0デニール、酢化度が5〜40%であるアセチルセルロース長繊維を構成素材とする目付20〜200g/m2 の不織布を基材として用いる。

請求項（抜粋）：

単糸繊度が0.7〜7.0デニール、酢化度が5〜40%であるアセチルセルロース長繊維を構成素材とする目付20〜200g/m2 の不織布を基材とするIC工場用清掃布。

IPC (7件)：

D04H 3/00 ,  A47L 13/16 ,  B08B 1/00 ,  D04H 3/10 ,  D04H 3/14 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 361