特許

J-GLOBAL ID：200903063562290513

ウェーハ支持板

発明者： 赤塚 雅則 ,  足立 尚志 ,  小松 幸夫
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-062258
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243064
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】ウェ-ハに生じるスリップを抑制し、不良品の発生率を低く押さえ、ウェ-ハの品質を高くできるウェ-ハ支持板を提供することを目的としている。【解決手段】ウェ-ハ挿入溝2のウェ-ハ挿入溝7内に装着されるウェ-ハ支持板1において、ウェ-ハ支持板1の厚みをウェ-ハ挿入溝7近傍で厚く形成し、且つウェ-ハ挿入溝7から離反するに従って薄く形成する構成とする。

請求項（抜粋）：

略リング状の板体で形成され、ウェ-ハを所定間隔で保持するウェ-ハ挿入溝が形成される支柱を有するウェ-ハ支持ボ-トのウェ-ハ挿入溝に装着され、当該ウェ-ハ挿入溝に装着される略リング状の板体の上にウェ-ハが載置されるウェ-ハ支持板において、前記略リング状の板体の厚みが前記ウェ-ハ挿入溝近傍で厚く形成されると共に、前記ウェ-ハ挿入溝から離反するに従って薄く形成されることを特徴とするウェ-ハ支持板

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/324 Q