特許

J-GLOBAL ID：200903063562804363

AOTFを備えたレ-ザ-走査式顕微鏡

発明者： ウルリッヒ サイモン (原語表記)Ulrich Simon ,  ステファン ヴィルヘルム (原語表記)Stefan Wilherumu
出願人/特許権者： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143181
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047117
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】レーザー走査式顕微鏡の設置条件が不確定で一定でない場合でも、必要とされるすべての紫外線波長領域と可視スペクトル領域に対してレーザーの性能の安定性を保証すること【解決手段】レーザーを結合する光路内に備えた音響光学式温度センサー(AOTF)の周辺、またはその近傍、あるいはこれと結合して1つの温度センサーが備え、その音響光学式温度センサー自体、および/またはその周囲が、加熱あるいは冷却されるようにした

請求項（抜粋）：

レーザーを結合する光路内に1つの音響光学式温度センサー(AOTF)を備えたレーザー走査式顕微鏡において、その音響光学式温度センサー(AOTF)の周辺、またはその近傍、あるいはこれと結合して1つの温度センサーが備えられているレーザー走査式顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G01K 11/22 ,  G01N 21/27

FI (4件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 Z ,  G01K 11/22 ,  G01N 21/27 E