特許
J-GLOBAL ID：200903063568092977
エキシマレーザ発振装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021868
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 励起ガス純化装置(循環装置)を有する希ガスハライドエキシマレーザ発振装置のガス供給、循環、補給システムに関し、効率的、連続的なハロゲンガス注入を行い、レーザ平均出力はもちろんのこと、パルス出力の安定した小型で優れた特性を持つエキシマレーザ発振装置を提供することを目的とする。【構成】 レーザ容器1とガス純化装置(循環装置)6とを結ぶ第一循環路と、ガス純化装置6の排出側と吸入側とを結ぶ第二循環路を設け、第二循環路中にガス溜21と流量制御手段及び弁16、17、18を設け、ガス溜21にはハロゲン濃度検出器20と圧力検出器10とレーザガス注入弁を設け、第一循環路を流れる一部のレーザガスを流量制御手段を介して、第二の循環路中に流し込み、第一循環路中に流量制御して戻すことによりレーザ容器1に補給されるレーザガスは一定流量となる。レーザ平均出力、パルス出力が安定し、高信頼性となる。
請求項（抜粋）：
レーザ容器とガス純化装置(循環装置)を結合する閉回路を設けてなる第一のガス循環路と、該純化装置(循環装置)の排出側と吸入側を結ぶ閉回路とした第二の循環路を備え、該第二の循環路中に少なくとも一つないし複数個のガス溜を設け、流量制御手段を介して第一のガス循環路にガスを戻すことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 J
, H01S 3/097 Z
