特許

J-GLOBAL ID：200903063568337490

多層反射増加膜

発明者： 塩川 紀子
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 増田 達哉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046108
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215915
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【構成】 本発明の多層反射増加膜19は、入射角が30〜60°で用いられる光学部品20の表面に、10〜18のうちの偶数の層を積層してなるものである。光学部品20の表面側から数えて奇数番目の層は、それぞれ、TiO2 、CeO2 、ZnSおよびBi2 O3 よりなる群から選択された少なくとも1つの化合物を主成分とする材料で構成されている。また、光学部品20の表面側から数えて偶数番目の層は、それぞれ、MgF2 およびSiO2 よりなる群から選択された少なくとも1つの化合物を主成分とする材料で構成されている。【効果】 少ない層数で、S偏光成分とP偏光成分の双方について高い反射率が得られ、かつ、広い波長域にわたって、反射光のS偏光成分とP偏光成分との無位相差状態が得られる。

請求項（抜粋）：

入射角が30〜60°で用いられる光学部品の表面に、10〜18のうちの偶数の層を積層してなる多層反射増加膜であって、前記表面側から数えて奇数番目の層は、それぞれ、TiO2 、CeO2 、ZnSおよびBi2 O3 よりなる群から選択された少なくとも1つの化合物を主成分とする材料で構成され、前記表面側から数えて偶数番目の層は、それぞれ、MgF2 およびSiO2 よりなる群から選択された少なくとも1つの化合物を主成分とする材料で構成されていることを特徴とする多層反射増加膜。

IPC (2件)：

G02B 5/28 ,  G02B 1/10