特許
J-GLOBAL ID：200903063573270050
塗布装置およびこれを用いた塗布・洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072861
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256185
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：
【要約】【目的】 塗布液の供給を停止させることなく支持体への塗布と並行させて塗布装置の塗布ヘッド先端部を洗浄することができ、これにより塗膜の膜厚変動や塗布ムラ、塗布スジ不良等の発生を未然に防止し、均一な塗膜形成を可能とすることのできる塗布装置およびこれを用いた塗布・洗浄方法を提供する。【構成】 塗布液供給用スリットから塗布液を連続的に吐出して支持体表面に塗布する押出し塗布ヘッドを備えた塗布装置において、前記押出し塗布ヘッドの前記塗布液供給用スリットの支持体搬送方向上流側に洗浄液供給手段を設けるよう構成する。そして、このような構成の塗布装置を用いて、前記押出し塗布ヘッドの塗布液供給用スリットから連続的に塗布液を吐出して走行する支持体表面に塗布するとともに、前記洗浄液供給手段から所定時間間隔にて洗浄液を吐出して、前記押出し塗布ヘッドの先端部を洗浄する。
請求項（抜粋）：
塗布液供給用スリットから塗布液を連続的に吐出して支持体表面に塗布する押出し塗布ヘッドを備えた塗布装置において、前記押出し塗布ヘッドの前記塗布液供給用スリットの支持体搬送方向上流側に洗浄液供給手段を設けたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
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