特許
J-GLOBAL ID：200903063574607628
表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288756
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128965
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】短時間にかつ容易にディスク媒体のような被検査対象物の表面の状態を検出すると共に、ディスクの回転ブレも同時に検出可能な表面検査方法を提供すること。【構成】回転可能な円盤状の被検査対象物12の主表面上の所定の検査ラインに所定入射角で帯状の光を照射し、上記検査ラインからの反射光の輝度を反射角に対する関数として順次測定し、この測定結果から上記反射光の輝度変化の基準特性を反射角の関数として求め、上記反射光線の輝度変化の基準特性において、最大輝度位置から所定角度外れた位置に上記光ライン・センサを配置し、上記円盤状の被検査対象物が回転中に上記帯状の光により走査された上記被検査対象物の表面状態及び回転状態を検査することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
回転可能な円盤状の被検査対象物の主表面上の所定の検査ラインに所定入射角で帯状の光を照射し、上記検査ラインからの反射光の輝度を反射角に対する関数として順次測定し、この測定結果から上記反射光の輝度変化の基準特性を反射角の関数として求め、上記反射光線の輝度変化の基準特性において、最大輝度位置から所定角度外れた位置に上記光ライン・センサを配置し、上記円盤状の被検査対象物が回転中に上記帯状の光により走査された上記被検査対象物の表面状態及び回転状態を検査することを特徴とする表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01J 1/02
