特許
J-GLOBAL ID：200903063582058439
工作装置のスピンドル軸
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345864
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162407
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：
【要約】【課題】金属からは金属イオンが発生して研削研磨加工後の半導体ウエハがイオン化して超高精度の鏡面加工及び平坦加工に障害が屡々発生し、又、金属は錆や摩耗が発生すると共に、雰囲気中の温度変化や、摩擦熱による加温等の温度差による膨縮が超高精度の鏡面加工及び平坦加工の精度向上の障害の要因と成っていた。【解決手段】本発明は、主として半導体ウエハを研削、研磨する工作機械のコラムに昇降且つ回転自在に設け下端にチャックを備えたスピンドル軸、又は、工作機械の基台に回転自在に設け上端に研削又は研磨プレートを備えたスピンドル軸であって、スピンドル軸をセラミックス粒を成形したプリフォームに溶融アルミ合金を非加圧で浸透させた金属とセラミックの複合体で形成したものである。
請求項（抜粋）：
主として半導体ウエハを研削、研磨する工作機械のコラムに昇降且つ回転自在に設け下端にチャックを備えたスピンドル軸であって、前記スピンドル軸をセラミックス粒を成形したプリフォームに溶融アルミ合金を非加圧で浸透させた金属とセラミックの複合体で形成したことを特徴とする工作装置のスピンドル軸。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
3C045FD03
, 3C045FD29
, 3J033AA01
, 3J033AB04
, 3J033AB05
, 3J033AC01
, 3J033BA01
