特許

J-GLOBAL ID：200903063583506273

アルミニウムディスクの研磨用組成物及びその研磨用組成物を用いる研磨方法

発明者： 河西 敏雄 ,  太田 勇夫 ,  加賀 隆生 ,  西村 透
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-310284
公開番号（公開出願番号）：特開平10-195421
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】 オレンジピール、スクラッチ、ピット、突起などの表面欠陥がなく、最大表面荒さが小さく、平均表面粗さも小さい高品質な研磨面を得ることができると共に、研磨速度が速くて、研磨工程の生産性の向上及び低コスト化を行うことができるアルミニウムディスクの研磨用組成物、及びその研磨用組成物を用いるアルミニウムディスクの研磨方法を提供すること。【解決手段】 水、アルミナ研磨材及び研磨促進剤を含むアルミニウムディスクの研磨用組成物において、研磨促進剤が三価又は四価の金属と無機酸又は有機酸から形成される塩基性塩であることを特徴とするアルミニウムディスクの研磨用組成物、及びその研磨用組成物を用いるアルミニウムディスクの研磨方法。

請求項（抜粋）：

水、アルミナ研磨材及び研磨促進剤を含むアルミニウムディスクの研磨用組成物において、研磨促進剤が三価又は四価の金属と無機酸又は有機酸から形成される塩基性塩であることを特徴とするアルミニウムディスクの研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

C09K 3/14 550 Z ,  C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  G11B 5/84 A