特許

J-GLOBAL ID：200903063590381800

可変容量コンデンサ

発明者： 伊豫田 友二 ,  藤井 康生 ,  田中 克彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339939
出願日： 1995年06月12日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】 容量変化率が大きく、コストの易い可変容量コンデンサを提供する。【構成】 絶縁支持台9上に駆動電極10を固定形成し、その両側に検出電極4を固定形成し、これらの各固定の電極4,10と間隙を介して可動電極6を対向配置し、可動電極6と検出電極4とにより容量コンデンサを形成する。前記絶縁支持台9は、可動電極6と検出電極4との間隙よりも可動電極6と駆動電極10との間隙が大きくなるよう(例えば2倍)に、駆動電極10の形成面側に凹部23を、検出電極4の形成面側に凸部22をそれぞれ設けて形成する。駆動電極10と可動電極6との間に外部バイアス電圧を印加して可動電極6を撓み変形させるようにすることで、可動電極6の変位範囲を2倍に大きくし、それにより、可変容量コンデンサの容量変化率を大きくする。

請求項（抜粋）：

絶縁支持台上に固定検出電極と固定駆動電極とが形成されており、これらの各固定電極と間隙を介して可動電極が対向配置されて該可動電極と前記固定検出電極により容量コンデンサが形成されており、該可動電極と前記絶縁支持台の少くとも一方は可動電極と固定検出電極との間隙よりも可動電極と前記固定駆動電極との間隙が大きくなるような形状に凹凸を有して形成されていることを特徴とする可変容量コンデンサ。