特許
J-GLOBAL ID：200903063590861062
エネルギ角度分散型全反射X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-188775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033451
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【構成】湾曲型ポリクロ結晶を用いたエネルギ角度分散型で、X線反射率のエネルギ依存性を測定するX線吸収微細構造測定装置である。試料ごとにX線反射率を最も効率良く測定するためのX線入射角度を決定し、X線入射角度を任意に設定可能である。また成膜装置を試料室内に収め、成膜しながらの測定、解析が可能になり、基板と薄膜との界面構造あるいは薄膜の構造について成膜初期段階から連続的に検討することができる。【効果】1〜数秒で高S/NなX線吸収微細構造の測定が可能である。
請求項（抜粋）：
X線源からのX線を、湾曲型ポリクロ結晶に入射させ、エネルギ角度分散させたX線を試料上に焦点をあわせて入射し、前記試料からのエネルギ角度分散したX線を、X線検出器で計測するエネルギ角度分散型X線吸収微細構造測定装置において、前記試料への入射X線を所定の角度で入射させ、試料台上の測定試料からの反射X線を計測することにより、X線反射率のエネルギ依存性によってX線吸収微細構造を測定することを特徴とするエネルギ角度分散型全反射X線分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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