特許
J-GLOBAL ID：200903063594456766
差圧測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249081
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103840
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 ゴミを除去し、センサ部分の動作異常が防止でき、信頼性が高く、かつ製造コストを低減し得る差圧測定装置を提供するにある。【構成】 封入液が封入され金属よりなるハウジングと、半導体からなる測定ダイアフラムとを具備する差圧測定装置において、板状のシリコン基板と、該シリコン基板を挟持する第1,第2ガラス基板と、前記シリコン基板の両面に対向してそれぞれ設けられ該シリコン基板に測定ダイアフラムを構成する第1,第2測定室と、該第1測定室と外部とを連通する第1連通孔を構成して前記シリコン基板或いは前記第1ガラス基板に形成され複数の網の目状エッチング溝により構成された第1フィルター部と、前記第2測定室と外部とを連通する第2連通孔を構成して前記シリコン基板或いは前記第2ガラス基板に形成され複数の網の目状エッチング溝により構成された第2フィルター部とを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。
請求項（抜粋）：
封入液が封入され金属よりなるハウジングと、半導体からなる測定ダイアフラムとを具備する差圧測定装置において、板状のシリコン基板と、該シリコン基板を挟持する第1,第2ガラス基板と、前記シリコン基板の両面に対向してそれぞれ設けられ該シリコン基板に測定ダイアフラムを構成する第1,第2測定室と、該第1測定室と外部とを連通する第1連通孔を構成して前記シリコン基板或いは前記第1ガラス基板に形成され複数の網の目状エッチング溝により構成された第1フィルター部と、前記第2測定室と外部とを連通する第2連通孔を構成して前記シリコン基板或いは前記第2ガラス基板に形成され複数の網の目状エッチング溝により構成された第2フィルター部とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
