特許

J-GLOBAL ID：200903063607714131

レジスト塗布装置

発明者： 瀬畑 浩之
出願人/特許権者： 茨城日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308405
公開番号（公開出願番号）：特開平6-154694
出願日： 1992年11月18日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【構成】 内部に基板を搭載して回転する回転ヘッドを有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを設けたスピンカップと、スピンカップの上に搭載してスピンカップの内部を密封する開閉可能なスピンカップ蓋と、スピンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、ドレンと排気ファンとの間に設けられてスピンカップを封止する電磁弁付きダンパと、回転ヘッドに搭載した基板の上方の位置の外側に設けたインナリングとを備え、回転塗布のとき、スピンカップ蓋と電磁弁付きダンパとによってスピンカップの内部を密封状態としてその雰囲気をレジストの溶剤で充満させる。【効果】 回転塗布によって飛散するレジストの乾燥を防止しえ糸状のレジストの発生を阻止でき、基板から飛散するレジストをインナリングに付着させて再飛散を防止できる。従って基板に均一な膜厚のレジストを塗布することが可能になる。

請求項（抜粋）：

内部の中心に基板を搭載して回転する回転ヘッドを有し底部にレジストの廃液を溜める廃液溜りを有するスピンカップと、前記スピンカップの上に開閉可能に搭載して前記スピンカップの内部を密封するスピンカップ蓋と、前記スピンカップから流れ出るレジストを貯蔵するドレンと、前記ドレンと排気ファンとの間に設けられて前記スピンカップを封止する電磁弁付きダンパと、前記回転ヘッドに搭載した前記基板の上方の外側の位置において前記スピンカップの内面に対して着脱自在に取付けたインナリングとを備えることを特徴とするレジスト塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06 ,  B32B 27/00