特許
J-GLOBAL ID：200903063620751216
ダイボンディング方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267090
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115928
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 シリンジに取り付けられたノズルの先端に発生するエポキシ樹脂の液ダレを抑止することができるダイボンディング方法及びその装置を提供する。【解決手段】 エポキシ樹脂2の塗布作業の待機中は、ニードル弁10がノズル3のテーパ状の内壁3dに接触して経路3cを塞ぐので、エポキシ樹脂2がノズル先端3aから液ダレすることがない。シリンジ1がアーム4によって所定の位置まで移動した後、降下するとニードル12の先端がリードフレーム13に当接し、ノズル先端3aと接触するまでシリンジ1が降下するとニードル弁10が開く。この状態でシリンジ1内に大気圧よりも高い圧力の空気を供給することにより、エポキシ樹脂2がノズルからリードフレーム13に吐出される。エポキシ樹脂2の吐出が終了すると、空気の供給が停止するとともにアーム4によりシリンジ1がリードフレーム13の上方に上昇し、ニードル弁10が再び閉じるので液ダレが生じない。
請求項（抜粋）：
ボンディング用樹脂を収容したシリンジを用いてダイボンディングする方法において、シリンジ先端のノズルに出没するニードル弁を収容し、シリンジ先端のノズルをリードフレーム上に当接した際にニードル弁を開くようにしたことを特徴とするダイボンディング方法。
FI (2件)：
H01L 21/52 E
, H01L 21/52 F
