特許
J-GLOBAL ID：200903063631400792
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 俊貴 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315378
公開番号（公開出願番号）：特開平6-155269
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【目的】 少なくとも2本の研磨テープを用いて研磨性能を高めるとともに、研磨テープを経済的に使用できるように改良する。【構成】 回転駆動される回転フレーム10内にその回転軸線と交差して並行に支持される繰り出しリール45からコンタクトローラ47を巡らせて研磨テープ50が巻取りリール40に巻取られるようにされ、前記コンタクトローラ47によってワークの被加工面に前記研磨テープ50を接触させて研磨加工される研磨装置1において、前記繰り出しリール45及び巻取りリール40は少なくとも2組を、前記回転フレーム10の回転中心を基準にして左右に配置され、前記コンタクトローラ47と前記巻取りリール40への研磨テープ50の巻取り手前位置に配される研磨テープ引き取りローラとは同期回転されるように駆動機構60のモータ61から動力が伝達され、前記繰り出しリール45及び前記巻取りリール40の各支持軸(駆動軸20と支持軸30)内にそれぞれ研磨テープ50に対する緊張力を付与させる制動手段28,38が設けられている。
請求項（抜粋）：
回転駆動される回転フレーム内にその回転軸線と交差して並行に支持される繰り出しリールからコンタクトローラを巡らせて研磨テープが巻取りリールに巻取られるようにされ、前記コンタクトローラによってワークの被加工面に前記研磨テープを接触させて研磨加工される研磨装置において、前記繰り出しリール及び巻取りリールは少なくとも2組を、前記回転フレームの回転中心を基準にして左右に配置され、前記コンタクトローラと前記巻取りリールへの研磨テープの巻取り手前位置に配される研磨テープ引き取りローラとは同期回転されるように駆動機から動力が伝達され、前記繰り出しリール及び前記巻取りリールの各支持軸内にそれぞれ研磨テープに対する緊張力を付与させる制動手段が設けられていることを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
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