真空紫外域の光学装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154812
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022129
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】真空紫外光を用いた測定機器等において、200nm付近に生じる原因不明の吸収をなくし、光学系の特性劣化や迷光、S/N比の低下等が発生しない光学装置を提供する。【構成】装置のチャンバー内部を不純物ガスを含まない不活性ガスで置換することにより、精度の高い光学測定、加工等が可能となる。

請求項（抜粋）：

チャンバーと、その外部に設けられた不活性ガス導入経路及び排出経路と、チャンバー内部に設けられた光学系とを有する真空紫外域で用いられる光学装置において、チャンバー内部を、不純物ガスを含まない不活性ガスで置換することを特徴とする光学装置。

IPC (5件)：

G03F 7/20 , G01J 3/02 , G01N 21/33 , G02B 27/00 , H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (7件)

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審査官引用 (13件)

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