特許
J-GLOBAL ID：200903063634514624
静電吸着装置、その製造方法及び固定保持方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-357082
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158174
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 比較的小さい印加電圧で大きな静電吸着力の発生が可能であり、且つ精密な基板の固定保持を可能とする。【解決手段】 静電吸着装置20は基板としてのウエハ5の固定保持を行うための支持面2を有し、基台1上に電極膜3と誘電層4が形成されている。電極膜3は二つの領域に分かれており、一方の電極21は他方の領域の電極22に対して外側に配置されているとともに該他方の領域の電極22とは独立に印加電圧を変化させることが可能であって、電極21,22のそれぞれに印加する電圧はウエハ5の形状情報に従う。
請求項（抜粋）：
基板の固定保持を行うための支持面を有する静電吸着装置であって、基台上に電極と誘電層が形成されており、前記電極は少なくとも二つの領域に分かれており、一方の領域の電極は他方の領域の電極に対して外側に配置されているとともに該他方の領域の電極とは独立に印加電圧を変化させることが可能であり、前記電極のそれぞれに印加する電圧は前記基板の形状情報に従うことを特徴とする静電吸着装置。
Fターム (15件)：
5F031CA02
, 5F031HA10
, 5F031HA16
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031HA19
, 5F031HA35
, 5F031JA02
, 5F031JA17
, 5F031JA25
, 5F031JA30
, 5F031JA33
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031PA13
