特許
J-GLOBAL ID：200903063654036540
磁気センサ及び磁気センサの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167588
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029509
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 コアの透磁率が高く、感度及びS/N比が優れた磁気センサと、そのセンサの実現のため、凹凸のない平坦なコアを形成することが可能な方法を提供する。【構成】 表面の平面度が高い平坦な絶縁層6上(または絶縁基板上)に平面状コア2を直に形成し、この後に、コア2の上下にそれぞれ配線層3,4を形成することにより、配線層に対する平坦化処理を行うことなく、凹凸のない平坦なコアを実現する。
請求項（抜粋）：
平面状コアを挟んで互いに対向する位置に、それぞれ、複数の励振線及び受信線からなる第1の配線層と第2の配線層が当該コアに対し絶縁された状態で形成され、それら第1の配線層と第2の配線層との間において各線がそれぞれ相互に接続されて全体として上記コアの回りに励振コイル及び受信コイルが形成されているとともに、上記平面状コアが、表面の平面度が高い絶縁層上または絶縁基板上に形成され、当該コアが凹凸のない平坦な形状に加工されてなる磁気センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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