感光性エレメント、これを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066301
公開番号（公開出願番号）：特開2004-326084
出願日： 2004年03月09日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】露光光として波長400〜450nmの光を使用した場合に十分な感度及び解像度を得ることができ、然も良好なレジスト形状を得ることのできる感光性エレメントの提供。【解決手段】感光性エレメントは、支持フィルムXと感光性樹脂組成物層Zとを有する。Zの材料の感光性樹脂組成物はバインダーポリマーAと少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物Bと光重合開始剤Cとを含有し、Cには、4,4 ́-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン及び/又は4,4 ́-ビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンが構成成分として少なくとも含まれており、Zの層厚Q[μm]と、Z中のAの総質量Wa[g]と、Z中のBの総質量Wb[g]と、Z中の上記ベンゾフェノンの質量Wc[g]とが、下記式(1)〜(3)で表される条件;(1):P={Wc/(Wa+Wb)}×100,(2):P×Q=R,(3):6.5≦R≦17.5を同時に満たすように調節されている。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持フィルムと、該支持フィルム上に配置される感光性樹脂組成物層とを有する感光性エレメントであって、前記感光性樹脂組成物層には感光性樹脂組成物が含まれており、前記感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマーと、(B)少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤とを含んでおり、前記(C)光重合開始剤には、4,4 ́-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン及び/又は4,4 ́-ビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンが構成成分として少なくとも含まれており、前記感光性樹脂組成物層の層厚Q[μm]と、前記感光性樹脂組成物層中の前記(A)バインダーポリマーの総質量Wa[g]と、前記感光性樹脂組成物層中の前記(B)少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物の総質量Wb[g]と、前記感光性樹脂組成物層中の前記4,4 ́-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン及び/又は4,4 ́-ビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンの質量Wc[g]とが、下記式(1)〜(3)で表される条件を同時に満たすように調節されていること、を特徴とする感光性エレメント。 P={Wc/(Wa+Wb)}×100 ・・・(1) P×Q=R ・・・(2) 6.5≦R≦17.5 ・・・(3)

IPC (5件)：

G03F7/031 , G03F7/004 , H05K3/00 , H05K3/06 , H05K3/18

FI (6件)：

G03F7/031 , G03F7/004 512 , H05K3/00 F , H05K3/00 G , H05K3/06 H , H05K3/18 D

Fターム (44件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA03 , 2H025DA05 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 5E339AB02 , 5E339BC02 , 5E339BD06 , 5E339BD08 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE14 , 5E339CE19 , 5E339CF06 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD02 , 5E339GG02 , 5E343AA02 , 5E343AA15 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343BB67 , 5E343BB72 , 5E343CC63 , 5E343CC65 , 5E343DD33 , 5E343DD43 , 5E343DD76 , 5E343ER12 , 5E343FF01 , 5E343FF16 , 5E343GG08

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