特許

J-GLOBAL ID：200903063664140362

多孔質誘電体膜の製造方法

発明者： 長谷川 利昭
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-247556
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092804
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 発砲剤を用いて多孔質低誘電率膜を製造すると、気泡の発生が不安定になるため、膜中に微小な気泡を有し、かつ安定的な構造を形成することが困難であった。【解決手段】 基板11上に、溶媒に溶かしたフルオロカーボン系樹脂を塗布して膜(有機膜15)を形成した後、有機膜15をフルオロカーボン系樹脂のガラス転移温度よりも高くその熱分解温度よりも低い温度雰囲気で、かつこの温度雰囲気における溶媒の飽和蒸気圧よりも低い圧力雰囲気で熱処理を行って、多孔質誘電体膜17を製造する方法であり、上記フルオロカーボン樹脂には、例えばポリテトラフルオロエチレンおよびパラジオキソールの混合物からなるものを用いる。

請求項（抜粋）：

多孔質誘電体膜を形成する方法であって、基板上に、溶媒に溶かしたフルオロカーボン系樹脂を塗布して有機膜を形成した後、前記有機膜を前記フルオロカーボン系樹脂のガラス転移温度よりも高く該フルオロカーボン系樹脂の熱分解温度よりも低い温度雰囲気で、かつ該温度雰囲気における前記溶媒の飽和蒸気圧よりも低い圧力雰囲気で熱処理を行うことを特徴とする多孔質誘電体膜の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/312 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (3件)：

H01L 21/312 M ,  H01L 21/316 P ,  H01L 21/90 S