特許
J-GLOBAL ID：200903063674065423
円板回転用保持チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058661
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249613
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 円板を自転させながら、その両面に対しエッチング、洗浄、乾燥等の処理を均一に施す。【解決手段】 基端が回転軸3に取り付けられた3本の支持アーム2a〜2c各々の先端に、ウェハ(円板)21を載置する一対の固定ピン4a、4bを設ける。また、載置されたウェハ21のオリエンテーションフラット22がどの位置にきてもウェハ21を水平に支持できるように補助支持ピン8を設けておく。さらに、支持アーム2a〜2c各々の先端に、ウェハ21のオリエンテーションフラット22の弦Lよりも長い所定間隔を隔てて一対の可動ピン9a、9bを設け、これをウェハ21の半径方向へ揺動することにより、ウェハ21の外周部を保持する。そして、回転軸3の回転によりウェハ21を自転させながら、これに処理を施す。
請求項（抜粋）：
回転軸に基端が取り付けられた複数の支持アームと、該支持アーム各々の先端に取り付けられ、円板下面の外周部付近が載置される載置部と、前記支持アーム各々の先端に、前記円板の周方向に所定距離を隔て、前記載置部を挟む形で配設され、前記円板の外周部にそれぞれの円筒面が接離可能である一対の可動ピンと、を含んで構成されることを特徴とする円板回転用保持チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23B 31/10 Z
, H01L 21/68 N
